科学日报(记者陈瑜)高性能耳温计、额温计等非接触式测温工具是目前大型人员发热筛查的主要工具之一。其核心部件微电子机械系统(MEMS)红外温度传感器长期以来一直以进口为主。最近，中国兵器工业集团电子研究所华东光电集成器件研究所通过技术研究，完成了传感器芯片的各项单项测试。性能指标精度为0.1℃，抗干扰能力优于目前市场主流产品(性能指标精度为0.3℃)。
由于防疫、复工和生殖的需要，高性能耳温枪、前额温枪等非接触式人体体温测量工具微机电红外传感器已收到数百万份订单。自1月底以来，华东光电集成器件研究所紧急调整了产品开发计划，提前恢复生产，组建了一个党员突击队和一个技术研究小组，24小时不间断地开展研究工作。目前，它已经完成了传感器芯片的各种单独测试，预计将在3月底完成芯片样品开发。同时，研究所还采购全自动封装组装的关键设备，补充芯片制造的关键设备，促进传感器芯片制造和封装组装的国产化。其月生产能力已从目前的2万台增加到100多万台，并可在4月初大量投放市场。
华东光电集成器件研究所作为国家发改委微机电国家与地方联合工程实验室和兵器工业集团微系统制造技术创新中心，在微机电传感器芯片设计、制造、封装、测试等方面拥有完整的科研能力。通过技术创新，在微机电传感器领域取得了许多技术成果。下一步将是开发相关的温度测量产品，以满足高精度人体温度测量的需要，如防疫和控制、恢复工作和生殖。
